a.直流电源 b.质量流量计(H2, O2) c.气体浓度传感器(H2, O2) d.质量流量控制器MCF(N2) e.水循环系统(水池,泵,流量计,过滤器) f.电解循环(阳极和阴极:水池,泵,流量计) g.自动注水(高压)和过滤 h.稳定控制和监测 i.预加热(在线加热器) j.自动背压控制 k.超纯水生成系统 | l.高频电阻HFR表 m.露点传感器 n.干燥器 o.空气冷凝(热交换) p.气-水分离 q.气体过滤,气泡捕集 r.其它采样口 s.安全,H2 泄露报警,关闭回路 t.自动控制和数据采集卡DAQ 硬件 u.接头,阀门,管道 v.操作软件 w.落地式机箱 |
a.单体电池/电堆/大电流直流电源 b.去离子水(超纯)生成过滤系统 c.水循环系统 -流量控制 -水电导率监 -离子交换过滤 -水温控制(加热和冷却) d.H2和O2质量流量计 e.H2和O2检测传感器 f.水气分离器 g.高频电阴HFR表 h.干燥器,露点监控 i.N2冲刷系统 j.Max10bar或高压控制(自动压力控制) k.全自动软件控制 | |